Laboratorium Nanostruktur
Instytut Wysokich Ciśnień PAN
EN - Laboratory of Nanostructures
Institute of High Pressure Physics PAS  

Skaningowy mikroskop elektronowy Zeiss Ultra Plus

 

Skaningowy mikroskop elektronowy

Jest to mikroskop z grupy "Ultra-High-Resolution Imaging". Mikroskop posiada chronioną patentami kolumnę GEMINI. Umożliwia on badanie próbki w bardzo szerokim zakresie napięć (od 20eV do 30kV) przy zachowaniu dużej zdolności rozdzielczej także przy niskich napięciach przyspieszających.

Mikroskop jest wyposażony w 2 detektory elektronów wtórnych: standardowy umieszczony w komorze SE2 oraz wewnątrzkolumnowy InLens. Dwa detektory elektronów wstecznych: pracujący od niskich napięć dedektor ESB z regulowanym napięciem na siatce, co pozwala na świadomy wybór zakresu energetycznego elektronów budujących obraz (możliwe jest uzyskanie kontrastu nie tylko od liczby atomowej, ale też np. od różnych faz tego samego pierwiastka (grafit - diament) oraz zbliżony do standardowego detektora backskaterdowego czterosegmentowy detektor AsB.

Z unikalnych aplikacji posiadamy też możliwość uzyskania rekonstrukcji trójwymiarowej powierzchni próbki (3D). Kolejnym detektorem jest dedektor STEM (obraz z wiązki przechodzącej).

 

System mikroanalizy EDS firmy Bruker

Mikroskop jest wyposażony także w system mikroanalizy EDS firmy Bruker mod. Quantax 400 z ultraszybkim (do 300 kconts/s) detektorem o rozdzielczości energetycznej 127eV i powierzchni czynnej 30mm2 umożliwiającym detekcję od pierwiastka boru. Umożliwia to bardzo szybką pracę, zwłaszcza aplikacji typu mapping i linescan. Dodatkową zaletą dużej powierzchni czynnej detektora jest możliwość pracy z niskimi prądami wiązki, co daje małe obciążenie próbki przy dużej efektywności akwizycji widma.